參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

檢測(cè)項(xiàng)目

氦泄漏率：測(cè)量范圍1×10?12~1×10?? Pa·m3/s（標(biāo)準(zhǔn)漏率單位）

氦濃度分析：精度±0.01ppm（0-100%量程）

氦分壓測(cè)定：分辨率0.1Pa（真空環(huán)境適用）

材料滲透系數(shù)：測(cè)試溫度-196℃~300℃（ASTM D1434改進(jìn)法）

殘留氦含量：檢出限≤0.5μL/L（氣相色譜法）

檢測(cè)范圍

半導(dǎo)體制造用高純氦氣（純度≥99.999%）

金屬焊接件密封腔體（壓力容器/管道系統(tǒng)）

真空鍍膜設(shè)備真空度驗(yàn)證

醫(yī)用核磁共振冷卻系統(tǒng)（超導(dǎo)磁體密封性）

航天器推進(jìn)劑貯箱（氦質(zhì)譜背壓法檢漏）

檢測(cè)方法

ASTM E493-22《真空系統(tǒng)氦泄漏測(cè)試規(guī)程》

ISO 20485:2017《非活性氣體-氦純度測(cè)定》

GB/T 38523-2020《混合氣體中氦含量的測(cè)定》

GB/T 34872-2017《真空技術(shù)氦質(zhì)譜檢漏方法》

ASME BPVC.V-2019 Article10（壓力容器檢漏規(guī)范）

檢測(cè)設(shè)備

Leybold PHOENIX L300i氦質(zhì)譜檢漏儀：最小可檢漏率5×10?13 Pa·m3/s

Agilent 490 Micro GC：配備TCD檢測(cè)器,，氦濃度分析周期＜30s

INFICON HAPSITE ER：便攜式殘余氣體分析儀（0.1-300amu）

Pfeiffer Vacuum ASM 340：全自動(dòng)檢漏系統(tǒng)（集成SNIFFER探頭）

SRS RGA200：四極桿殘余氣體分析儀（1×10?1? Torr靈敏度）

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測(cè)周期：7~15工作日,，可加急,。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè),。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案,。

售后：報(bào)告終身可查，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)