參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

檢測(cè)項(xiàng)目

1.間距精度：測(cè)量實(shí)際間距與設(shè)計(jì)值的偏差范圍（0.5μm~5μm）

2.平行度誤差：評(píng)估兩極軸線偏移角度（≤0.02）

3.表面粗糙度：Ra值控制在0.1-0.8μm區(qū)間

4.垂直度偏差：軸向偏移量不超過15μm/m

5.熱變形量：溫度循環(huán)（-40℃~150℃）下的形變量監(jiān)測(cè)

檢測(cè)范圍

1.半導(dǎo)體晶圓電極陣列

2.鋰離子電池正負(fù)極片組

3.真空開關(guān)管觸頭系統(tǒng)

4.MEMS傳感器微電極對(duì)

5.多層陶瓷電容器內(nèi)電極

檢測(cè)方法

ASTMF534-18半導(dǎo)體晶圓電極間距測(cè)試規(guī)范

ISO1101:2017產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)形位公差測(cè)量

GB/T1800.2-2020極限與配合基礎(chǔ)第2部分：標(biāo)準(zhǔn)公差等級(jí)

IEC62133-2:2017便攜式電池安全要求中的極距測(cè)試條款

JISB7440-3:2018三次元測(cè)量機(jī)檢測(cè)方法

檢測(cè)設(shè)備

1.KeyenceIM-8000圖像尺寸測(cè)量?jī)x：配備20nm分辨率光學(xué)系統(tǒng)

2.MitutoyoCMMCrysta-ApexS三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)：空間精度(1.8+L/250)μm

3.ZygoNewView9000白光干涉儀：垂直分辨率0.1nm

4.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦顯微鏡：XY分辨率120nm

5.HexagonAbsoluteArm7軸測(cè)量臂：動(dòng)態(tài)精度28μm

6.NikonMM-400U測(cè)量顯微鏡：物鏡放大倍率50X~1000X

7.Starrett光學(xué)投影儀：放大倍率20X~100X

8.Agilent5530激光干涉儀：線性測(cè)量精度0.5ppm

9.ZeissO-INSPECT復(fù)合式測(cè)量機(jī)：CT掃描+接觸式探針復(fù)合系統(tǒng)

10.MarSurfLD260輪廓儀：Z軸分辨率1nm

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測(cè)周期：7~15工作日,，可加急,。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè),。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案,。

售后：報(bào)告終身可查，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)