參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

檢測項(xiàng)目

1.面形誤差檢測：PV值≤λ/10（λ=632.8nm）,，RMS≤λ/50

2.曲率半徑測量：范圍5m至500mm，精度0.05%

3.平行度測試：分辨率0.1arcsec（角秒級(jí)）

4.表面粗糙度分析：Ra≤0.5nm（白光干涉模式）

5.厚度均勻性評(píng)估：測量精度0.1μm@25mm口徑

檢測范圍

1.光學(xué)玻璃：包括透鏡,、棱鏡,、窗口片等成像元件

2.晶體材料：鈮酸鋰、藍(lán)寶石等單晶/多晶材料基片

3.金屬表面：精密機(jī)械零件平面度與粗糙度

4.聚合物薄膜：厚度50μm-5mm的PET/PC膜層

5.半導(dǎo)體晶圓：硅片翹曲度與納米級(jí)表面缺陷

檢測方法

1.ASTME284-17：標(biāo)準(zhǔn)表面粗糙度術(shù)語定義

2.ISO10110-5:2015：光學(xué)元件面形公差規(guī)范

3.GB/T10988-2009：光學(xué)系統(tǒng)偏心測試方法

4.ISO14997:2018：光學(xué)表面缺陷檢測標(biāo)準(zhǔn)

5.GB/T13323-2009：光學(xué)零件面形偏差測試通則

檢測設(shè)備

1.ZygoVerifireMST：大口徑（Φ600mm）菲索干涉儀

2.TaylorHobsonTalysurfCCILite：白光干涉三維輪廓儀

3.4DTechnologyPhaseCam6000：動(dòng)態(tài)干涉測量系統(tǒng)

4.BrukerContourGT-X3：顯微干涉三維形貌儀

5.TriopticsOptiSphericIFR：球面/非球面綜合測試平臺(tái)

6.Keysight5500A：激光平面干涉儀（雙頻激光源）

7.MitutoyoMF-U1000H：超精密平面度測量儀

8.FisbaμPhase2D：微型光纖干涉系統(tǒng)

9.NikonNEXIVVMZ-S6560：視頻測量干涉顯微鏡

10.OptofluxF20A：在線式薄膜厚度監(jiān)測儀

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測周期：7~15工作日,，可加急。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告,。

標(biāo)準(zhǔn)測試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測,。

非標(biāo)測試：支持定制化試驗(yàn)方案。

售后：報(bào)告終身可查,，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)