參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日,，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

檢測項目

1.定位精度：測量實際位移與理論值的最大偏差（0.005mm/300mm）
2.重復定位精度：連續(xù)五次同向定位的最大離散值（≤0.003mm）
3.直線度誤差：運動軌跡在水平/垂直面的偏移量（0.005mm/m）
4.垂直度誤差：兩軸線間角度偏離90的補償值（≤3″）
5.反向間隙：換向時驅(qū)動系統(tǒng)空行程量（≤0.008mm）

檢測范圍

1.數(shù)控機床導軌與絲杠系統(tǒng)
2.半導體晶圓定位平臺
3.三坐標測量機運動軸系
4.工業(yè)機器人線性模組
5.光刻機精密位移臺

檢測方法

1.ISO230-2:2014《機床檢驗通則第2部分：數(shù)控軸線的定位精度和重復定位精度的確定》
2.GB/T17421.2-2016《機床檢驗通則第2部分：數(shù)控軸線的定位精度和重復定位精度》
3.ASTME2309-05(2015)《激光干涉儀線性測量標準規(guī)程》
4.JISB6190-6:2016《工業(yè)機器人性能試驗方法及第6部分：定位精度》
5.VDI/DGQ3441德國質(zhì)量保證準則《統(tǒng)計過程控制與機床能力驗證》

檢測設備

1.RenishawXL-80激光干涉儀：分辨率0.001μm，最大測量長度80m
2.LeicaAT960激光跟蹤儀：空間坐標測量精度15μm+6μm/m
3.HEIDENHAINKGM182柵格尺：柵距20μm,，系統(tǒng)精度1.5μm/m
4.APIXDLaser六維激光測量系統(tǒng)：同步測量6自由度誤差
5.MitutoyoSJ-410輪廓儀：表面粗糙度Ra0.01-10μm量程
6.KEYENCELK-G5000激光位移計：0.02μm分辨率,，70kHz采樣率
7.SIOSSP-2000激光測距儀：納米級分辨率真空環(huán)境適用
8.FAROVantageS6激光跟蹤儀：0.5μm單點精度，40m工作半徑
9.OGPSmartScopeFlash500影像測量儀：多傳感器復合測量系統(tǒng)
10.WylerZerotronic雙頻激光干涉儀：環(huán)境補償型高穩(wěn)定性測量裝置

北京中科光析科學技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測周期：7~15工作日,，可加急。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告,。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測,。

非標測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查,，工程師1v1服務,。

中析儀器 資質(zhì)