參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外)。

檢測項(xiàng)目

膜層基礎(chǔ)參數(shù)：

• 物理厚度：中心厚度（±0.5nm）,、邊緣厚度差（參照ISO 10110-5）
• 光學(xué)厚度：λ/4相位厚度偏差（≤±1.5%）

• 面型均勻性：直徑80mm內(nèi)厚度波動（≤±2nm）
• 批次一致性：同批次樣本厚度極差（≤3nm）

• 折射率匹配度：設(shè)計(jì)波長處折射率偏差（Δn≤0.02）
• 透射率/反射率：特征波長處透過率公差（如1064nm處T≥99.8%）

• 層間界面：膜層分層缺陷（參照ISO 14997）
• 膜層致密度：針孔密度（≤5個(gè)/cm2）

• 溫度循環(huán)：-40℃~85℃循環(huán)后厚度變化率（≤0.3%）
• 濕度試驗(yàn)：85%RH/100h后附著強(qiáng)度（≥3B級）

• 耐磨性：鋼絲絨摩擦500次后厚度損失（≤2nm）
• 附著力：膠帶剝離試驗(yàn)（0級合格）

• 中心波長偏移：設(shè)計(jì)波長偏差（±0.5nm）
• 截止陡度：OD值從0.5升至3.0的波長跨度（≤10nm）

• 層序準(zhǔn)確性：膜層堆疊順序驗(yàn)證
• 過渡層厚度：界面梯度層厚度（5-20nm）

• 表面粗糙度：RMS值（≤0.3nm）
• 表面缺陷：劃痕寬度（≤20μm）

• 耐溶劑性：乙醇擦拭后膜層完整性
• 酸堿耐受：pH4-10溶液浸泡24h厚度變化（≤0.5%）

檢測范圍

1. 光學(xué)玻璃透鏡：涵蓋K9,、ZF7等材料，重點(diǎn)檢測寬帶增透膜在可見光波段（400-700nm）的厚度均勻性

2. 紅外硫系玻璃：Ge,、ZnSe等基底,，側(cè)重3-5μm/8-12μm波段減反射膜厚度匹配性

3. 聚合物鏡片：CR39、PC材料，檢測柔性基底膜層附著強(qiáng)度及熱膨脹系數(shù)差異

4. 激光光學(xué)元件：Nd:YAG/KTP晶體,，要求532/1064nm高損傷閾值膜層厚度精度±0.3nm

5. 攝像模組鏡片：玻塑混合結(jié)構(gòu),，關(guān)注多層AR膜在紅外截止區(qū)（650-1100nm）厚度設(shè)計(jì)驗(yàn)證

6. 投影光引擎透鏡：超高折射率材料（n>1.8），檢測寬入射角（0-45°）膜層厚度補(bǔ)償效果

7. 紫外熔石英鏡片：193nm/248nm曝光系統(tǒng),，嚴(yán)控深紫外膜層厚度梯度及界面擴(kuò)散

8. 汽車HUD反射鏡：金屬鋁反射膜,，檢測膜厚與反射相位角關(guān)聯(lián)性

9. 光纖端面鍍膜：Φ0.25mm微區(qū)，聚焦膜層邊緣厚度陡變控制

10. 航天濾光片：宇航級熔融石英,，監(jiān)測抗輻射膜層厚度空間分布穩(wěn)定性

檢測方法

國際標(biāo)準(zhǔn)：

• ISO 10110-5 光學(xué)元件鍍膜厚度公差規(guī)范
• ISO 14707 輝光放電光譜法測定膜層厚度
• ASTM B748 觸針式表面輪廓儀測量膜厚

• GB/T 26331 光學(xué)薄膜厚度測量 橢圓偏振法
• GB/T 18310.49 纖維光學(xué)互連器件 薄膜濾光片厚度測試
• GB/T 38256 激光損傷閾值測試中膜厚監(jiān)控方法

檢測設(shè)備

1. 光譜橢偏儀：J.A.Woollam M-2000DI型（入射角15-90°,，波長范圍190-1700nm）

2. 白光干涉儀：ZYGO NewView9000（垂直分辨率0.1nm，掃描范圍100μm）

3. X射線反射儀：Rigaku SmartLab（角度分辨率0.0001°,，Cu靶Kα輻射）

4. 掃描電子顯微鏡：Hitachi SU5000（分辨率1nm,，搭配截面拋光儀）

5. 輝光放電光譜儀：Horiba GD-Profiler 2（深度分辨率5nm，濺射速率0.5μm/min）

6. 激光共聚焦顯微鏡：Keyence VK-X3000（405nm激光,，Z軸重復(fù)精度2nm）

7. 分光光度計(jì)：PerkinElmer Lambda1050（波長精度±0.08nm,，透過率重復(fù)性0.03%）

8. 納米壓痕儀：Anton Paar UNHT（載荷分辨率50nN，位移分辨率0.02nm）

9. 原子力顯微鏡：Bruker Dimension Icon（掃描范圍90μm,，分辨率0.2nm）

10. 傅里葉紅外光譜儀：Thermo Nicolet iS50（檢測波段7800-350cm?1,，分辨率0.09cm?1）

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日,，可加急,。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測,。

非標(biāo)測試：支持定制化試驗(yàn)方案,。

售后：報(bào)告終身可查，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)