參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

輕度電離氣體檢測技術(shù)專題

輕度電離氣體檢測技術(shù)規(guī)范與應(yīng)用

檢測項(xiàng)目

輕度電離氣體檢測主要包括以下核心指標(biāo)：

電離度測定：量化氣體電離程度,，測量單位體積內(nèi)帶電粒子濃度

氣體成分分析：檢測O?、N?,、Ar等基礎(chǔ)氣體及微量雜質(zhì)占比

電子溫度檢測：通過光譜分析推算電子能量分布

離子遷移率檢測：評估帶電粒子在電場中的運(yùn)動特性

等離子體密度監(jiān)測：采用微波干涉法測定電離氣體密度

檢測范圍

本檢測技術(shù)主要應(yīng)用于：

半導(dǎo)體制造：晶圓刻蝕工藝中的等離子體監(jiān)控

環(huán)境監(jiān)測：大氣電離層異常狀態(tài)分析

醫(yī)療設(shè)備：腫瘤治療用等離子發(fā)生裝置質(zhì)控

航空航天：再入大氣層熱防護(hù)系統(tǒng)驗(yàn)證

新能源開發(fā)：核聚變裝置第一壁材料測試

典型檢測環(huán)境涵蓋10?3~102 Torr壓力范圍,，溫度區(qū)間-50℃~3000℃的極端工況

檢測方法

1. 探針診斷法

采用朗繆爾三探針系統(tǒng)，通過電流-電壓特性曲線解析等離子體參數(shù),，測量誤差≤±5%

2. 光譜分析法

運(yùn)用OES（光學(xué)發(fā)射光譜）技術(shù),，檢測波長范圍200-1000nm，分辨率達(dá)0.1nm

3. 微波干涉法

使用頻率26.5-40GHz的微波源,，通過相位差計(jì)算電子密度,，檢測限10? cm?3

4. 質(zhì)譜檢測法

配備四極桿質(zhì)量分析器，質(zhì)量范圍1-300 amu,，檢測靈敏度達(dá)ppb級

檢測儀器

技術(shù)挑戰(zhàn)

檢測過程中需特別注意：

電磁干擾屏蔽：采用雙層μ-metal磁屏蔽結(jié)構(gòu)

熱輻射補(bǔ)償：使用水冷探針+紅外濾波系統(tǒng)

信號衰減控制：同軸電纜損耗＜0.5dB/m

真空系統(tǒng)匹配：極限真空度≤5×10?? Pa

數(shù)據(jù)分析

建立多參數(shù)耦合模型：

n_e = (I_ion^2)/(ε?k_BT_eA2) × C 其中： n_e - 電子密度 (m?3) I_ion - 離子電流 (A) T_e - 電子溫度 (eV) A - 探針表面積 (m2) C - 幾何修正系數(shù)

中析儀器 資質(zhì)