參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

檢測項(xiàng)目

漏率范圍：1×10^-12~1×10^-5 Pa·m3/s

溫度適應(yīng)性：-50℃~200℃工況泄漏量測定

壓力梯度：0.1~40MPa壓差條件下的滲透率換算

等效標(biāo)準(zhǔn)漏率：氦氣與空氣介質(zhì)的Lusec單位轉(zhuǎn)換系數(shù)驗(yàn)證

背景噪聲：本底氦濃度≤5×10^-9 mbar·l/s的干擾排除

檢測范圍

金屬密封件：法蘭/焊接接頭/閥門/壓力容器

真空設(shè)備：低溫泵/分子泵/鍍膜腔體

半導(dǎo)體組件：晶圓反應(yīng)腔/氣體輸送管路

新能源裝備：燃料電池雙極板/儲氫罐

航天器件：推進(jìn)劑貯箱/艙門密封系統(tǒng)

檢測方法

國際標(biāo)準(zhǔn)：

ASTM E493-22 靜態(tài)累積法（真空模式）

ISO 20486:2017 動態(tài)流量法（正壓模式）

JIS Z 2331:2019 示蹤氣體混合比校準(zhǔn)規(guī)程

國家標(biāo)準(zhǔn)：

GB/T 12604.7-2021 無損檢測術(shù)語-泄漏檢測

GB/T 34630-2017 密封元件氦泄漏檢驗(yàn)方法

GB/T 38599-2020 真空技術(shù)-質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范

檢測設(shè)備

Pfeiffer HLT560：雙通道質(zhì)譜分析模塊，最小可檢漏率5×10^-13 mbar·l/s

Agilent 990DX：四極桿質(zhì)譜系統(tǒng),，支持真空/吸槍雙模式自動切換

Leybold UL700：集成式前級泵組,，工作壓力范圍1×10^-9~1000 mbar

INFICON ELT3000：移動式檢漏儀，內(nèi)置GPS定位數(shù)據(jù)追溯系統(tǒng)

CETA DC2008：多通道采集單元,，同步記錄溫度/壓力/流量參數(shù)

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測周期：7~15工作日，可加急,。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告,。

標(biāo)準(zhǔn)測試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測。

非標(biāo)測試：支持定制化試驗(yàn)方案,。

售后：報告終身可查,，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)