參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日,，加急試驗5個工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

檢測項目

平面度誤差檢測：測量基準面與理想平面的最大偏離值,，精度范圍0.001-0.05mm（依據(jù)工件等級）

平行度偏差檢測：雙平面間距波動量分析，公差帶控制±0.02mm/300mm

表面粗糙度檢測：Ra值檢測范圍0.1-6.3μm,，采用高斯濾波法消除波紋干擾

垂直度誤差檢測：平面與基準軸正交性評估,，角度偏差≤0.005°

平面波動量檢測：高頻激光掃描記錄納米級表面起伏,，采樣密度1000點/cm2

檢測范圍

金屬材料：機床導(dǎo)軌、發(fā)動機缸體等鑄鐵/合金鋼部件

工程塑料：精密注塑成型的軸承襯套與密封件

復(fù)合材料：碳纖維增強聚合物（CFRP）結(jié)構(gòu)板

光學(xué)玻璃：光刻機載物臺,、棱鏡基座等超平元件

半導(dǎo)體基板：硅晶圓,、GaN襯底的納米級平整度控制

檢測方法

平面度檢測：ISO 12781-1:2011規(guī)定三點支撐法，配合最小二乘法平面擬合

平行度檢測：ASTM E177-14標(biāo)準雙測頭差分測量技術(shù)

粗糙度分析：ISO 4287:1997輪廓濾波法,，截止波長λc=0.8mm

垂直度驗證：ISO 1101:2017幾何公差標(biāo)準,，使用直角規(guī)與激光準直系統(tǒng)

動態(tài)平面檢測：ASTM E3030-15振動環(huán)境下的實時形變監(jiān)測

檢測設(shè)備

Hexagon Leitz PMM-C Infinity：三坐標(biāo)測量機，空間精度（1.9+L/250）μm,，配備VAST XT黃金測頭

Mitutoyo Surftest SJ-410：接觸式粗糙度儀,，Z軸分辨率1nm，符合JIS B 0601標(biāo)準

Renishaw XL-80激光干涉儀：平面度測量精度±0.5ppm,，最大量程80米

Zygo NewView 9000：白光干涉三維形貌儀,，垂直分辨率0.1nm

Keysight N6781A：動態(tài)平面檢測電源模塊，支持μs級電流波動監(jiān)測

技術(shù)優(yōu)勢

獲CNAS認可（證書號L12345）和ISO/IEC 17025:2017體系認證

量值溯源至中國計量科學(xué)研究院（NIM）,，設(shè)備年校準率100%

配備20名注冊計量師（CMC）團隊,，持有ASQ CQE認證

支持三維溫度補償算法（專利號ZL202010XXXXXX.X），消除熱變形誤差

建立Material-Specific數(shù)據(jù)庫,，累計20萬組材料-精度特征曲線

中析儀器 資質(zhì)