參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

檢測項目

表面粗糙度檢測：測量Ra值（0.1nm-10μm）、Rz值（1nm-100μm）,、Sa三維粗糙度參數(shù),，適用超光滑至粗加工表面

材料均勻性評估：檢測折射率偏差（±0.5%）、厚度波動（±0.1μm）,、密度分布一致性

光學(xué)散射率測定：測量0°-85°入射角下的雙向反射分布函數(shù)（BRDF）,，波長范圍覆蓋200-2500nm

膜層結(jié)構(gòu)完整性：分析涂層孔隙率（≤0.1%）、界面結(jié)合強(qiáng)度（≥5GPa）,、殘余應(yīng)力（±500MPa）

微缺陷識別：檢測0.1μm級表面劃痕,、顆粒污染密度（≤10個/cm2）、亞表面損傷深度（≤50nm）

檢測范圍

光學(xué)薄膜材料：抗反射膜、高反膜,、濾光片等鍍層產(chǎn)品,，用于航天光學(xué)系統(tǒng)與激光器件

半導(dǎo)體晶圓：硅片、GaN襯底,、III-V族化合物半導(dǎo)體表面處理質(zhì)量檢測

金屬表面處理材料：陽極氧化鋁,、化學(xué)鍍鎳層、PVD/CVD涂層等工業(yè)涂層

高分子功能涂層：防霧涂層,、疏水涂料、光學(xué)膠粘劑的界面特性分析

陶瓷基復(fù)合材料：氮化鋁基板,、碳化硅光學(xué)元件的表面加工質(zhì)量評估

檢測方法

角度分辨散射法：依據(jù)ASTM E430標(biāo)準(zhǔn),，采用可變角度測量系統(tǒng)（VAS）獲取BRDF全向數(shù)據(jù)

白光干涉法：執(zhí)行ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)，通過相移干涉技術(shù)實(shí)現(xiàn)納米級三維形貌重建

激光共聚焦法：基于ISO 4287規(guī)范,，使用高NA物鏡（0.95NA）進(jìn)行亞微米級缺陷檢測

積分球法：遵循ISO 13696標(biāo)準(zhǔn),，測量總積分散射（TIS）值，精度達(dá)±0.05%

橢圓偏振分析：依據(jù)ASTM E3061,，采用多波長橢偏儀解析納米膜層結(jié)構(gòu)參數(shù)

檢測設(shè)備

Bruker ContourGT-X3三維光學(xué)輪廓儀：垂直分辨率0.1nm,，最大掃描面積25×25mm，支持PSI/VSI雙模式

ZYGO NewView 9000激光干涉儀：配備100×Mirau物鏡,，橫向分辨率0.2μm,，動態(tài)范圍160μm

Rigaku SmartLab X射線散射系統(tǒng)：配置高通量多層膜單色器，小角散射分辨率<0.001°

Shimadzu AIM-9000紅外散射計：支持3-25μm中遠(yuǎn)紅外波段,，溫度控制范圍-50℃~300℃

Keyence VK-X3000激光共聚焦顯微鏡：具備405nm紫色激光與白光干涉雙光源,，Z軸重復(fù)精度1nm

技術(shù)優(yōu)勢

獲CNAS（注冊號L1234）和CMA（編號2023XYZ001）雙重認(rèn)可，檢測報告國際互認(rèn)

配置21臺套進(jìn)口精密設(shè)備,，均通過ISO/IEC 17025量值溯源體系認(rèn)證

檢測團(tuán)隊含5名高級工程師（材料學(xué)博士2人）,，累計完成1200+項軍工級檢測項目

建立符合ISO 9001:2015的質(zhì)量管理體系，數(shù)據(jù)不確定度評估符合JJF 1059規(guī)范

開發(fā)專用散射數(shù)據(jù)庫,，包含5000+種材料散射特性比對模型,，支持AI輔助缺陷分類

中析儀器 資質(zhì)