參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日,，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

檢測項目

離子束流密度：測量范圍0.1-50 mA/cm2，精度±1.5%

離子能量分布：能量范圍50-5000 eV,，分辨率≤0.5%

束流均勻性：橫向均勻性偏差≤±3%,，縱向漂移≤2%/h

工作壽命測試：連續(xù)運行≥5000小時，衰減率≤10%

氣體電離效率：電離效率≥85%,，氣體消耗量≤5 sccm

檢測范圍

半導(dǎo)體材料：硅,、碳化硅、氮化鎵基片離子注入層

光學(xué)鍍膜材料：TiO?,、SiO?,、Al?O?薄膜沉積層

納米功能材料：石墨烯、碳納米管表面改性層

金屬合金：鈦合金,、不銹鋼表面硬化處理層

生物醫(yī)學(xué)涂層：羥基磷灰石,、DLC薄膜

檢測方法

ASTM F1234-18：離子源束流穩(wěn)定性測試標(biāo)準(zhǔn)

ISO 21438:2019：電離效率與氣體消耗量測定方法

GB/T 30119-2013：冷陰極離子源壽命試驗規(guī)范

ISO 14606:2015：離子能量分析儀校準(zhǔn)程序

GB/T 39271-2020：離子束均勻性測試技術(shù)導(dǎo)則

檢測設(shè)備

Hiden EQP 1000：高分辨離子能量分析儀，能量分辨率0.05 eV

Keithley 2636B：雙通道源表,，支持pA級微電流檢測

Faraday Cup Array FCA-3000：多通道束流密度測量系統(tǒng)

Agilent 7900 ICP-MS：等離子體質(zhì)譜儀,，元素離化率分析

Veeco DEKTAK XTL：臺階儀，膜厚均勻性測量精度±0.1 nm

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測周期：7~15工作日,，可加急。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告,。

標(biāo)準(zhǔn)測試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測,。

非標(biāo)測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查,，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)