真空箱氦檢檢測(cè)摘要:真空箱氦檢檢測(cè)是一種高精度泄漏檢測(cè)技術(shù),,主要用于評(píng)估密封部件或系統(tǒng)的氣密性,。其核心是通過(guò)氦質(zhì)譜儀捕捉微量氦氣泄漏信號(hào),,量化泄漏率并定位缺陷位置。關(guān)鍵檢測(cè)指標(biāo)包括泄漏率閾值(通?!?×10??Pa·m3/s)、真空度控制(≤10??Pa)及環(huán)境溫濕度穩(wěn)定性(±1℃/±5%RH),。適用于航空航天,、半導(dǎo)體封裝等高要求領(lǐng)域。
參考周期:常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,,加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。
注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。
泄漏率測(cè)試:閾值范圍1×10??~1×10?12 Pa·m3/s
密封性驗(yàn)證:保壓時(shí)間≥30min/壓降≤5%
真空度穩(wěn)定性:波動(dòng)值≤±5% @10?? Pa
氦氣殘留量:背景濃度≤5×10?? mbar·L/s
溫度循環(huán)測(cè)試:-40℃~+150℃交變驗(yàn)證
多通道同步檢測(cè):支持≥8通道并行分析
航空航天:發(fā)動(dòng)機(jī)燃料管路/艙門(mén)密封件/航天器熱控系統(tǒng)
半導(dǎo)體設(shè)備:晶圓傳輸腔室/刻蝕反應(yīng)腔/真空機(jī)械手
醫(yī)療器械:血液透析器/植入式器械封裝/高壓氧艙
新能源部件:燃料電池雙極板/鋰電池外殼/儲(chǔ)氫罐焊縫
工業(yè)閥門(mén):球閥閥座/波紋管密封/超高壓截止閥
ASTM E493-22:真空箱法氦泄漏標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試規(guī)程
ISO 20486:2017:密封元件最小可檢漏率測(cè)定方法
GB/T 12604.7-2021:無(wú)損檢測(cè)術(shù)語(yǔ) 泄漏檢測(cè)
GB/T 34632-2017:真空技術(shù) 氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范
MIL-STD-750-4:軍用電子器件氦密封試驗(yàn)方法
氦質(zhì)譜檢漏儀:Leybold PHOENIX L300i(分辨率0.1μg/yr)
真空測(cè)試腔體:Cincinnati VACUTEST VX-2000(容積2m3/極限真空5×10?? Pa)
多通道采集系統(tǒng):INFICON HLD5000(16通道/響應(yīng)時(shí)間<0.1s)
溫控系統(tǒng):Thermotron SM-32C(-70℃~+180℃/變溫速率15℃/min)
數(shù)據(jù)記錄儀:Agilent 34972A(6?位分辨率/1000通道擴(kuò)展)
報(bào)告:可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。
檢測(cè)周期:7~15工作日,,可加急,。
資質(zhì):旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試:嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè),。
非標(biāo)測(cè)試:支持定制化試驗(yàn)方案,。
售后:報(bào)告終身可查,工程師1v1服務(wù),。
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