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晶體接合線檢測(cè)

2025-03-17 關(guān)鍵詞:晶體接合線測(cè)試方法,晶體接合線測(cè)試周期,晶體接合線測(cè)試案例 相關(guān):
晶體接合線檢測(cè)

晶體接合線檢測(cè)摘要:晶體接合線檢測(cè)是半導(dǎo)體封裝及微電子器件制造中的關(guān)鍵質(zhì)量控制環(huán)節(jié),主要針對(duì)鍵合線的幾何尺寸、力學(xué)性能及表面缺陷進(jìn)行精密分析,。核心檢測(cè)參數(shù)包括線徑偏差、抗拉強(qiáng)度,、延伸率及結(jié)合界面完整性等,需通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化儀器與規(guī)范方法確保數(shù)據(jù)可靠性,。

參考周期:常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,,加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。

注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

檢測(cè)項(xiàng)目

線徑偏差檢測(cè):測(cè)量范圍10-50μm,允許公差±0.5μm

抗拉強(qiáng)度測(cè)試:標(biāo)距長(zhǎng)度25mm,,加載速率5mm/min

延伸率測(cè)定:斷裂伸長(zhǎng)率要求≥15%

表面粗糙度分析:Ra值≤0.1μm(金線)/≤0.2μm(銅合金線)

結(jié)合力測(cè)試:剪切力≥50gf(25μm線徑)

檢測(cè)范圍

貴金屬鍵合線:金線(Au≥99.99%),、銀線(Ag≥99.95%)

合金鍵合線:銅合金線(Cu≥99.7%)、鋁硅合金線(Si含量1%)

復(fù)合鍍層線材:鈀包銅線(Pd層厚度≥0.05μm)

功率器件鍵合線:直徑50-500μm的鋁帶/銅帶

高溫鍵合材料:鉑銥合金線(Ir含量10%-20%)

檢測(cè)方法

ASTM E384-22:微壓痕硬度測(cè)試方法

ISO 6892-1:2019:金屬材料拉伸試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 4340.1-2009:金屬維氏硬度試驗(yàn)方法

JESD22-B116A:半導(dǎo)體鍵合線剪切試驗(yàn)規(guī)范

GB/T 10610-2009:產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法

檢測(cè)設(shè)備

Keyence VHX-7000數(shù)字顯微鏡:5000倍光學(xué)放大,,3D形貌重建功能

Instron 5943微力試驗(yàn)機(jī):0.001N分辨率,,100mm/min最大速度

Mitutoyo SJ-410表面粗糙度儀:16nm縱向分辨率,JIS B0651標(biāo)準(zhǔn)

Nordson DAGE XD7600 X射線檢測(cè)系統(tǒng):130kV微焦點(diǎn)源,,3μm分辨率

Hitachi SU5000場(chǎng)發(fā)射電鏡:1nm分辨率能譜分析模塊

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱:中析研究所】

報(bào)告:可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測(cè)周期:7~15工作日,可加急,。

資質(zhì):旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告,。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試:嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。

非標(biāo)測(cè)試:支持定制化試驗(yàn)方案,。

售后:報(bào)告終身可查,,工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)

中析晶體接合線檢測(cè) - 由于篇幅有限,,僅展示部分項(xiàng)目,,如需咨詢?cè)敿?xì)檢測(cè)項(xiàng)目,請(qǐng)咨詢?cè)诰€工程師

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