參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

檢測(cè)項(xiàng)目

1.位移精度：測(cè)量實(shí)際移動(dòng)距離與理論值的偏差范圍（0.01mm~0.1mm）
2.角度偏差：檢測(cè)X/Y/Z三軸旋轉(zhuǎn)角度誤差（0.05~0.5）
3.重復(fù)定位精度：連續(xù)10次運(yùn)動(dòng)軌跡標(biāo)準(zhǔn)差（≤0.005mm）
4.速度穩(wěn)定性：運(yùn)動(dòng)過程中加速度波動(dòng)量（≤2%）
5.坐標(biāo)系對(duì)齊度：多軸聯(lián)動(dòng)時(shí)坐標(biāo)匹配誤差（≤0.03mm）

檢測(cè)范圍

1.精密機(jī)械部件：數(shù)控機(jī)床主軸/導(dǎo)軌系統(tǒng)
2.光學(xué)元件：光刻機(jī)晶圓臺(tái)/反射鏡支架
3.半導(dǎo)體設(shè)備：鍵合機(jī)焊頭/探針臺(tái)
4.工業(yè)機(jī)器人：六軸關(guān)節(jié)臂末端執(zhí)行器
5.航空航天部件：衛(wèi)星天線展開機(jī)構(gòu)/慣導(dǎo)平臺(tái)

檢測(cè)方法

1.ASTME2309-22：基于激光干涉的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量方法
2.ISO9283:2020：工業(yè)機(jī)器人位姿特性測(cè)試規(guī)范
3.GB/T17421.2-2022：機(jī)床幾何精度檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)
4.ISO230-3:2020：數(shù)控機(jī)床熱變形補(bǔ)償測(cè)試
5.GB/T26195-2019：光學(xué)儀器裝配精度檢驗(yàn)規(guī)程

檢測(cè)設(shè)備

1.RenishawXL-80激光干涉儀：分辨率0.001μm的線性位移測(cè)量
2.LeicaAT960絕對(duì)跟蹤儀：大空間三維坐標(biāo)測(cè)量（精度15μm+6μm/m）
3.PolytecPSV-500掃描式激光測(cè)振儀：高頻振動(dòng)位移采集（帶寬25MHz）
4.ZeissACCURAII三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)：多軸聯(lián)動(dòng)軌跡分析（探測(cè)誤差≤0.6μm）
5.KeysightN7788B光波前分析儀：光學(xué)元件平移波像差檢測(cè)
6.Micro-EpsiloncapiNCDT6700電容傳感器：納米級(jí)靜態(tài)位移監(jiān)測(cè)
7.Kistler9236A六維力傳感器：運(yùn)動(dòng)過程力學(xué)耦合分析
8.NikonNEXIVVM-450影像測(cè)量系統(tǒng)：二維平面位置偏差評(píng)估
9.HexagonAbsoluteArm7軸測(cè)量臂：現(xiàn)場(chǎng)快速校準(zhǔn)（空間精度28μm）
10.PIE-727數(shù)字控制器：閉環(huán)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)誤差補(bǔ)償驗(yàn)證

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測(cè)周期：7~15工作日,，可加急。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè),。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案。

售后：報(bào)告終身可查,，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)