參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

檢測(cè)項(xiàng)目

1.表面平面度：測(cè)量范圍500μm,，精度0.1μm/m
2.局部凹陷深度：分辨率0.05μm，最大測(cè)量深度2mm
3.表面粗糙度：Ra0.01-25μm,，符合ISO4287標(biāo)準(zhǔn)
4.波紋度分析：波長(zhǎng)范圍0.08-8mm,，振幅分辨率0.02μm
5.微觀劃痕檢測(cè)：最小識(shí)別寬度0.5μm，深度分辨率10nm

檢測(cè)范圍

1.光學(xué)級(jí)藍(lán)寶石窗口片（厚度0.3-10mm）
2.半導(dǎo)體晶圓（直徑200-300mm）
3.精密軸承滾道表面（硬度HRC60以上）
4.航空鈦合金結(jié)構(gòu)件（表面鍍層厚度5-50μm）
5.MEMS器件微結(jié)構(gòu)（特征尺寸≥10μm）

檢測(cè)方法

1.白光干涉法：依據(jù)ISO25178-604進(jìn)行三維形貌重建
2.激光共聚焦法：執(zhí)行GB/T34879-2017標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量流程
3.相位偏移干涉術(shù)：符合ASTME2847-21測(cè)試規(guī)范
4.數(shù)字圖像相關(guān)法：參照ISO16063-42動(dòng)態(tài)變形分析
5.原子力顯微術(shù)：滿足GB/T31227-2014納米級(jí)測(cè)量要求

檢測(cè)設(shè)備

1.ZYGOVerifireMST：波長(zhǎng)632.8nm激光干涉儀,，PV值測(cè)量精度λ/100
2.BrukerContourGT-X3：白光干涉三維輪廓儀,，垂直分辨率0.1nm
3.KeyenceVR-5000：4K級(jí)工業(yè)顯微鏡系統(tǒng)，最大倍率5000X
4.MitutoyoSJ-410：接觸式粗糙度儀,，符合JISB0659標(biāo)準(zhǔn)
5.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦顯微鏡,，Z軸重復(fù)性1nm
6.TaylorHobsonPGI1240：非接觸式輪廓儀，掃描速度100mm/s
7.ZeissSurfcom5000：全自動(dòng)表面測(cè)量系統(tǒng),，最大行程200mm
8.NikonNEXIVVM-300S：視頻測(cè)量系統(tǒng),，定位精度1μm
9.AliconaInfiniteFocusG5：高景

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測(cè)周期：7~15工作日，可加急,。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告,。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案,。

售后：報(bào)告終身可查,，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)