摻雜氧化物擴(kuò)散檢測(cè)摘要:摻雜氧化物擴(kuò)散檢測(cè)是評(píng)估材料性能及工藝穩(wěn)定性的重要手段,,主要針對(duì)半導(dǎo)體,、陶瓷及功能涂層等領(lǐng)域,。檢測(cè)涵蓋元素濃度分布、擴(kuò)散系數(shù)測(cè)定及微觀結(jié)構(gòu)分析等關(guān)鍵參數(shù),,需依據(jù)ASTM,、ISO及GB/T等標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。本文系統(tǒng)介紹檢測(cè)項(xiàng)目,、適用材料范圍、標(biāo)準(zhǔn)化方法及核心設(shè)備配置,。
參考周期:常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,,加急試驗(yàn)5個(gè)工作日,。
注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。
1. 摻雜元素濃度梯度分析:測(cè)量范圍0.1ppm-10wt%,,深度分辨率≤5nm
2. 氧化物層厚度測(cè)定:精度±0.5μm(1-100μm范圍)
3. 擴(kuò)散系數(shù)計(jì)算:溫度范圍300-1300℃,誤差±5%
4. 界面結(jié)合強(qiáng)度測(cè)試:載荷范圍0.1-50N,,位移分辨率0.01μm
5. 晶格畸變率測(cè)定:XRD半高寬法(FWHM≤0.1°)
1. 半導(dǎo)體材料:硅基/砷化鎵摻雜氧化物薄膜
2. 高溫涂層材料:YSZ熱障涂層/鋁化物擴(kuò)散障層
3. 固體氧化物燃料電池:LSM/YSZ復(fù)合陰極材料
4. 光學(xué)鍍膜材料:TiO?/SiO?多層干涉膜系
5. 核用包殼材料:鋯合金氧化層/MAX相涂層
1. ASTM F121-80(2020):二次離子質(zhì)譜法測(cè)定摻雜濃度分布
2. ISO 14606:2015:輝光放電光譜深度剖析技術(shù)規(guī)范
3. GB/T 17473.5-2008:薄膜厚度X射線反射法測(cè)量規(guī)程
4. ISO 21222:2020:原子探針層析技術(shù)操作規(guī)范
5. GB/T 38715-2020:高溫氧化試驗(yàn)中擴(kuò)散系數(shù)計(jì)算方法
1. Thermo Scientific ARL QUANT'X EDXRF:能量色散X射線熒光光譜儀(元素定量分析)
2. CAMECA IMS 7f-Auto:磁式二次離子質(zhì)譜儀(深度分辨率1nm)
3. Bruker D8 ADVANCE XRD:高分辨X射線衍射儀(晶格參數(shù)測(cè)定)
4. ZEISS Crossbeam 550 FIB-SEM:聚焦離子束掃描電鏡(三維重構(gòu))
5. HORIBA GD-Profiler 2:射頻輝光放電光譜儀(深度剖析速率10μm/min)
6. Cameva LEAP 5000 XR:原子探針斷層掃描儀(三維原子尺度分析)
7. Netzsch STA 449 F3 Jupiter:同步熱分析儀(高溫?cái)U(kuò)散動(dòng)力學(xué)研究)
8. Park NX-Hivac AFM:高真空原子力顯微鏡(表面形貌表征)
9. Oxford Instruments Symmetry EBSD:電子背散射衍射系統(tǒng)(晶界擴(kuò)散分析)
10. Rigaku Ultima IV XRD:薄膜專用衍射儀(掠入射模式GID測(cè)量)
報(bào)告:可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。
檢測(cè)周期:7~15工作日,可加急,。
資質(zhì):旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告,。
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試:嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。
非標(biāo)測(cè)試:支持定制化試驗(yàn)方案,。
售后:報(bào)告終身可查,,工程師1v1服務(wù)。
中析摻雜氧化物擴(kuò)散檢測(cè) - 由于篇幅有限,,僅展示部分項(xiàng)目,,如需咨詢?cè)敿?xì)檢測(cè)項(xiàng)目,請(qǐng)咨詢?cè)诰€工程師
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