參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個人除外),。

檢測項(xiàng)目

1. 極限真空度測定：測量系統(tǒng)在穩(wěn)定狀態(tài)下達(dá)到的最低壓力值（1×10?? Pa~1×10?? Pa）

2. 有效抽氣速率測試：記錄單位時間內(nèi)氣體排出量（10~5000 L/s）

3. 泄漏率驗(yàn)證：采用氦質(zhì)譜法檢測系統(tǒng)漏率（≤1×10?? Pa·m3/s）

4. 返油率分析：測量油蒸氣返流速率（≤1×10?? g/cm2·min）

5. 溫升特性試驗(yàn)：監(jiān)測連續(xù)運(yùn)行8小時泵體溫度變化（ΔT≤45℃）

6. 振動噪聲評估：按ISO 10816標(biāo)準(zhǔn)測試運(yùn)行振動值（≤4.5 mm/s）

檢測范圍

1. 真空包裝材料（鋁塑復(fù)合膜、鍍硅PET膜）的透氣性驗(yàn)證

2. 半導(dǎo)體制造設(shè)備（PECVD腔體,、離子注入機(jī)）真空系統(tǒng)驗(yàn)收

3. 醫(yī)療滅菌設(shè)備（環(huán)氧乙烷滅菌柜,、凍干機(jī)）密封性能測試

4. 航空航天部件（推進(jìn)劑貯箱、熱控涂層）出氣特性分析

5. 工業(yè)真空泵（旋片泵,、羅茨泵,、分子泵）出廠性能檢驗(yàn)

檢測方法

ASTM E296-17《Standard Practices for Testing Gas Leaks Using Mass Spectrometer Leak Detector》規(guī)范氦檢漏流程

ISO 21360-1:2019《Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance》規(guī)定抽速測試程序

GB/T 3163-2007《真空技術(shù) 術(shù)語》定義基礎(chǔ)測試參數(shù)

GB/T 32213-2015《真空絕熱板有效導(dǎo)熱系數(shù)的測定》包含特殊材料測試方案

ISO 1608-1:2020《Vapor vacuum pumps - Measurement of performance characteristics》規(guī)范蒸汽泵測試條件

檢測設(shè)備

Edwards STP-A4506渦輪分子泵：極限真空5×10?? Pa，抽速450 L/s（N?）

Agilent IDP-3干式真空泵：無油設(shè)計(jì),，最大流量3 m3/h

INFICON UL1000 Fab氦質(zhì)譜檢漏儀：靈敏度1×10?12 Pa·m3/s

Leybold CTR 90復(fù)合真空計(jì)：量程覆蓋1×10? Pa~1×10?? Pa

MKS 925型微壓差傳感器：分辨率0.001% FS,，量程±1000 Torr

Brooks SLA5850質(zhì)量流量計(jì)：精度±0.5% RD，流量范圍0-5000 sccm

Thermo Scientific HAAKE Viscotester iQ：粘度測量模塊用于油品分析

Brüel & Kj?r 2270型聲級計(jì)：符合IEC 61672 Class 1噪聲測試標(biāo)準(zhǔn)

FLIR T865紅外熱像儀：-40°C~1500°C溫升監(jiān)測精度±1%

National Instruments PXIe-4499動態(tài)信號采集系統(tǒng)：同步采集振動與壓力數(shù)據(jù)

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版),。

檢測周期：7~15工作日,，可加急。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告,。

標(biāo)準(zhǔn)測試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測,。

非標(biāo)測試：支持定制化試驗(yàn)方案。

售后：報(bào)告終身可查,，工程師1v1服務(wù),。

中析儀器 資質(zhì)